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SGC-10薄膜測厚儀

產品型號:  

產品時間:  2018-04-25

所  在  地:  天津市南開區華苑產業園區鑫茂科技園G座

產品特點:  SGC-10薄膜測厚儀,適用于介質,半導體,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀,是我公司與美國new-span公司合作研制的,采用new-span公司先進的薄膜測厚技術,基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學常數(折射率n,消光系數k)。

(聯系我們,請說明是在 天津港東科技股份有限公司 上看到的信息,謝謝!)

產品概述

強大的軟件功能:

界面友好,操作簡便,用戶點擊幾下鼠標就可以完成測量。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數據數據處理功能強大,可同時測量多達四層的薄膜的反射率數據。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學常數等數據。材料庫中包含了大量常規的材的光學常數數據。用戶可以非常方便地自行擴充材料數據庫。

 

產品功能適用性:

該儀器適用于多種介質,半導體,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。

 

典型的薄膜材料為:

SiO2CaF2MgF2、光刻膠、多晶硅、非晶硅、SiNxTiO2、聚酰亞胺、高分子膜。

 

典型的基底材料為:

SiGeGaAsZnSZnSe、鋁丙烯酸、藍寶石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

儀器具有開放性設計,儀器的光纖探頭可很方便地取出,通過儀器附帶的光纖適配器(如圖所示)連接到帶C-mount的顯微鏡(顯微鏡需另配),就可以使本測量儀適用于微區(>10μm,與顯微鏡放大率有關)薄膜厚度的測量。

技術指標:

 

名稱

參數

厚度范圍

20nm-50um(只測膜厚),

100nm-10um(同時測量膜厚和光學常數n,k)

根據薄膜材料的種類,其范圍有所不同。

準確性

<1nm或<0.5%

重復性

0.1nm

波長范圍

380nm-1000nm

可測層數

1-4

樣品尺寸

樣品鍍膜區直徑>1.2mm

測量速度

5s-60s

光斑直徑

1.2mm-10mm可調

樣品臺

290mm*160mm

光源

長壽命溴鎢燈(2000h)

光纖

純石英寬光譜光纖

探測器

進口光纖光譜儀

電源

AC100V-240V,50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm


 

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